Jak wszyscy wiemy, na świecie jest tylko jeden producent, który może produkować litografię EUV, jest nim holenderski ASML.
A powodem, dla którego jest jedyny na świecie, jest to, że ASML będzie skupiać wielu kluczowych producentów, takich jak niemiecka firma optyczna Zeiss (Zeiss), a następnie amerykański Cymer, a następnie niemiecka Tom Fast Group (TRUMPF ) i tak dalej.
ASML związał tych producentów ze swoim rydwanem poprzez inwestycje, przejęcia, udziały, tworzenie ośrodków badawczych i tak dalej, a ci producenci, prawdopodobnie jedyni producenci na świecie, którzy mogą wytwarzać te produkty, więc ostatecznie tylko ASML jest w stanie wyprodukować litografię EUV na świecie.
Jednak ostatnio kluczowy łańcuch dostaw ASML pobiegł do Shenzhen w Chinach, aby zbudować fabrykę, a jej spółka zależna w Shenzhen osiedliła się w Chińsko-Niemieckim (Europa) Industrial Demonstration Park.
Tym producentem jest niemiecka firma Tom Fast Group (TRUMPF), to litografia EUV firmy ASML, jedyny na świecie dostawca źródeł laserowych.
Produkty TRUMPF w litografii EUV, jak ważne? Najpierw pozwól mi wyjaśnić zasadę litografii EUV, zrozumiesz.
Mówiąc prościej, zasada litografii EUV koncentruje się na trzech głównych systemach: systemie źródła światła EUV UV, systemie obiektywów i systemie stołów.
Konkretny proces polega na użyciu lasera do wzbudzenia ekstremalnego światła ultrafioletowego o długości fali 13,5 nm, a następnie po korekcji w celu utworzenia kontrolowanej wiązki światła, a następnie ta wiązka światła jest rzutowana na stół fotomaski, a następnie rzutowana przez obiektyw lustro do stołu ekspozycyjnego, a na koniec wytrawiłem obwód na płytce krzemowej pokrytej fotorezystem.
Jednym z systemów źródeł światła UV EUV jest uzyskiwanie przez bombardowanie kropli metalu cyny (Sn) laserem CO2 o mocy 30 kW, odparowanie jej do postaci plazmy i ostatecznie uzyskanie światła EUV o długości fali 13,5 nm.
Ten laser CO2 o mocy 30 kW dostarcza firma TRUMPF, jedyna taka na świecie.
Nie lekceważ tego lasera CO2, składa się on z 457 329 części, długość kabla w systemie wynosi do 7 322 metrów, a waga to 17 090 kg, co jest jednym z najważniejszych podstawowych elementów litografii EUV.
Teraz TRUMPF pobiegł do Chin, aby zbudować fabrykę, intencja jest jasna, to znaczy optymistyczna co do chińskiego rynku laserów, a jeszcze bardziej długoterminowa perspektywa, optymistyczna co do chińskiego rynku litografii, w przyszłości może współpracować z Chinami przy budowie litografii EUV .
W rzeczywistości istnieje już więcej niż jeden łańcuch dostaw ASML biegnący do Chin w celu budowy fabryki, zanim pojawi się KMWE i inni producenci, również do Chin w celu zbudowania fabryki.
Zgodnie z obecnym trendem, możemy optymistycznie oczekiwać, że może już niedługo chińska technologia litografii będzie dużym krokiem naprzód, a nawet wielkość produkcji litografii EUV, może również oczekiwać, jak myślisz?
